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반도체 제조 장치 게시글 상세보기 - 작성자, 조회수, 등록일, 첨부파일, 상세내용, 이전글, 다음글 제공
반도체 제조 장치
출원인
극동대학교 산학협력단
출원일
2016-04-19
특허 등록일
2020-03-17
첨부파일
공고전문_1020160047610.pdf
(1,848 KB)
공개전문_1020160047610.pdf
(1,814 KB)
증기 세척 방식을 이용하여 기판을 세척하는 세척 공정 챔버; 원자층 증착법을 이용하여 상기 기판 상부에 플라 즈마 패시베이션 막을 형성하는 PEALD 공정 챔버; 및 상기 플라즈마 패시베이션 막 상부에 절연층을 형성하는 열 ALD 공정 챔버를 포함하는 반도체 제조 장치가 개시된다.
자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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